KLA-Tencor Puma 9100 晶圓檢測(cè)儀

是一款先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓測(cè)試和計(jì)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)及研發(fā)領(lǐng)域。該設(shè)備具有高精度和可重復(fù)性的特點(diǎn)，能夠提供精確的微觀級(jí)測(cè)量能力。它配備了易于使用的裝載端口、機(jī)器人和光學(xué)檢查功能，以及多軸平臺(tái)，用于實(shí)現(xiàn)精確的微米級(jí)測(cè)量。

此外，Puma 9100 還集成了圖像傳感器和智能系統(tǒng)，以確保光學(xué)測(cè)量的準(zhǔn)確性，并且具備自動(dòng)化的樣品處理能力，可以無限制地進(jìn)行檢查區(qū)域的成像。該設(shè)備還支持暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)，這使得它在識(shí)別電子制造過程中的潛在缺陷方面表現(xiàn)出色。

總體而言，KLA-Tencor Puma 9100 是一款多功能且高效的晶圓測(cè)試系統(tǒng)，適用于各種半導(dǎo)體制造和研究應(yīng)用，提供了高度精確的測(cè)量能力和靈活的部署方案。