HMI eScan 315晶圓檢測(cè)儀是一款由HMI公司制造的自動(dòng)化晶圓和掩模檢查設(shè)備，旨在為圖案化晶圓和光罩檢查過(guò)程提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。該系統(tǒng)采用專(zhuān)有的PAT-FINDER圖像處理器，并利用三通道彩色CCD相機(jī)準(zhǔn)確捕捉高達(dá)143個(gè)晶圓或掩模的圖像。

HMI eScan 315晶圓檢測(cè)儀具有高級(jí)運(yùn)動(dòng)控制功能，包括多軸掃描和插值運(yùn)動(dòng)控制，能夠進(jìn)行自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、掃描、照明和分析，以進(jìn)行全面的缺陷審查，最大分辨率高達(dá)26百萬(wàn)像素。此外，它還具備強(qiáng)大的技術(shù)、先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制功能和模塊化工程設(shè)計(jì)，是任何行業(yè)或研究機(jī)構(gòu)的理想選擇。

需要注意的是，HMI eScan 315與HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp是不同的型號(hào)。后者是一款功能更強(qiáng)大、高精度的掩模和晶圓檢測(cè)設(shè)備，擁有先進(jìn)的成像技術(shù)和軟件，提供自動(dòng)缺陷檢測(cè)、測(cè)量、分割和分類(lèi)能力，一直到納米級(jí)。eScan 315xp還結(jié)合了電子束光學(xué)、低溫掃描系統(tǒng)和高度的圖像解析算法，為用戶(hù)提供了無(wú)與倫bi的精度和準(zhǔn)確性。

HMI eScan 315是一款功能強(qiáng)大且經(jīng)濟(jì)高效的晶圓和掩模檢查設(shè)備，適用于各種行業(yè)和研究機(jī)構(gòu)的需求。